מכונת ליטוגרפיה מסכת יישור תמונה

מִפרָט

1. אזור חשיפה: 110 מ"מ × 110 מ"מ;
2. ★ אורך גל חשיפה: 365nm;
3. רזולוציה: ≤ 1m;
4. דיוק היישור: 0.8 מ';
5. טווח התנועה של שולחן הסריקה של מערכת היישור יעמוד לפחות ב: Y: 10 מ"מ;
6. צינורות האור השמאלי והימני של מערכת היישור יכולים לנוע בנפרד בכיווני X, y ו-Z, כיוון X: ± 5 מ"מ, כיוון Y: ± 5 מ"מ וכיוון Z: ± 5 מ"מ;
7. גודל מסכה: 2.5 אינץ', 3 אינץ', 4 אינץ', 5 אינץ';
8. גודל מדגם: fragment, 2 ", 3", 4 ";
9. ★ מתאים לעובי מדגם: 0.5-6 מ"מ, ויכול לתמוך בחתיכות מדגם של 20 מ"מ לכל היותר (מותאם אישית);
10. מצב חשיפה: תזמון (מצב ספירה לאחור);
11. אי אחידות תאורה: ＜ 2.5%;
12. מיקרוסקופ יישור CCD עם שדה כפול: עדשת זום (פי 1-5) + עדשת אובייקטיבית מיקרוסקופית;
13. מהלך התנועה של המסכה ביחס למדגם יעמוד לפחות ב: X: 5 מ"מ; Y: 5 מ"מ; : 6º；
14. ★ צפיפות אנרגית חשיפה: > 30MW / cm2,
15. ★ מיקום היישור ומיקום החשיפה פועלים בשתי תחנות, ומנוע הסרוו של שתי התחנות עובר אוטומטית;
16. פילוס לחץ מגע מבטיח חזרה באמצעות חיישן;
17. ★ פער היישור ופער החשיפה ניתנים להגדרה דיגיטלית;
18. ★ יש לו ממשק טביעת ננו וממשק קרבה;
19. ★ תפעול מסך מגע;
20. מימד כולל: כ-1400 מ"מ (אורך) 900 מ"מ (רוחב) 1500 מ"מ (גובה).